厍狄士文的祖父厍狄干，官至左丞相。其父厍狄伏敬，任武卫将军、肆州刺史。厍狄士文因父亲之故，袭封章武郡王，官至领军将军。
厍狄士文性格较为孤僻，平素从不与人交往，甚至亲戚朋友也不相往来，终日闭门自守。北周武帝宇文邕灭北齐，山东士人百姓都出迎北周军队，独有厍狄士文闭门不出，不迎周师，周武帝非常奇怪，授他随州刺史。杨坚代周建立隋朝，厍狄士文又被任命为贝州刺史。厍狄士文为官执法严酷至极，以至“吏人股栗”，道不拾遗。他刚到贝州刺史任上时，便清查官吏有无受赃形迹，哪怕接受一尺布一升米，他都要治罪，结果查出一千余人。厍狄士文上表奏明朝廷，将这一千余人全部充军到岭南。出发时，其亲友家人相送，哭声几乎遍于全州。当时正逢岭南疫病流行，发配去的人，十之八九都病死在那里。其亲友家人均痛恨厍狄士文，故意哭吊他以泄恨。厍狄士文令人捕捉，遍施刑罚，哭声却越来越烈，禁止不住。百姓编歌谣以讽刺之，为朝廷所闻，厍狄士文因此被免官。
厍狄士文也知道自己执法过严，没过多久，他被重新任命为雍州长史，上任时，他对人说道：“我向来执法严厉，不能趋奉权贵，必然要死在这个官职上了。”而上任以后，依然执法严酷，不避权贵，宾客都不敢上他的门。后来果然被御史弹劾，厍狄士文性情刚烈，为此愤忿不已，不久就死了。
尽管厍狄士文为政十分严酷，但他为官却特别廉洁，不贪财物。有一次，朝廷置酒宴请百官，酒宴后，叫百官到仓库中取绢，任取多少，只要拿得动就行。厍狄士文入库，出来时口衔一匹，两手各拿一匹，一共才拿了三匹。皇帝问他为何拿得这样少，他答道：“臣口手都已有，其余都不需要了。”为此，皇帝十分赞赏他，特意另赐他财物。当贝州刺史时，他甘守清苦，但家教很严，绝不准家里沾公家一丁点光，家中可说是别无长物。有一次，或许由于饥饿，他的儿子偷吃了官厨中的饼。厍狄士文知道后，立刻将他抓进牢中，戴上枷锁，关了不少天。后来又将他杖责一百下，送回京城家中。家中仆役之类，平时无事不敢随便出门。家中菜蔬、油盐酱醋之类物品，从不准在本州购买，而是特地到邻近州县买回，为的是杜绝私弊。他外出时，总是将官府关上门，贴上封条，禁止家人出入，也是为的杜绝私弊。
《隋书·厍狄士文传》
