登陆注册
10072300000278

第278章 检验

中科院微电子中心出产的0.8微米工艺光刻机,其光源和光电成像照准系统都是光电所的杰作。作为光电所的一把手,赵院长对光刻机也算是大半个行家了。

只一眼,他就认出了这套光刻机的出身。1995年上半年微电子中心,才完成了0.8微米工艺光刻机的研发。产量在那里明摆着,一共也没有生产出多少来。没办法,中科院当幕后老板,国内最有可能向这方面发展的梦幻集团,都放弃了走技术路线。除非国家上马集成电路的大工程,否则根本没有哪个单位吃饱了撑的,会去采购国产光刻机。

国产光刻机的市场占有率,不光是九十年代,哪怕到了二十一世纪也是个悲剧。魔都微电子号称2009年就实现了90nm光刻机的国产,但是后来国内晶圆厂宁愿买国外进口的二手线,也不要他的国产货。

在光刻机上面,为何神奇的兔子能造就白菜定律,却偏偏不起作用了?这一点也不奇怪,因为一是核心设备没掌握,尼康卡你的脖子。二是光刻机的良品率上不去,产品便宜的再多架不住生产成本高。

当然,魔都微电子不管怎么说,总还是做了一些成绩的。周硕虽然心里惋惜,但也明白国产光刻机不行,不是它一家的问题。

总之这年头中科院微电子中心能卖出去的光刻机可谓是凤毛麟角,而其中的光电设备只一眼赵院长就看出来确实是出自自家之手。

不管研究成果如何,这起码说明周硕确实在实打实投入的研究技术。赵院长看向自家产品的眼神,自然也就温柔了许多。

“这套设备说起来,还是我在光电所的时候亲手制作的。”麻友公站在赵院长的身边,感慨的说道:“院子,不论泛翰研究院的水平如何,起码他们确实是在踏踏实实的做技术。就这一点上来说,也不应该对他们太过苛求了。”

“哼,你现在是人家的工人了,当然替东家说话。”赵院长有些傲娇的哼哼着,眼睛却在光刻机上怎么也挪不开。

他收敛了一下脾气,好奇的问道:“这就是你们改进的0.5微米工艺光刻机?究竟做了哪些改进?”

“我们改进了……”麻友公开了个头,突然停顿了一下,无奈的摇头道:“我和研究所签了保密协议的,具体技术不能说。”

“德行。”赵院长撇了麻友公一眼,看的他浑身不自在。没办法,他这一身本身可以说,多半都是来自赵院长的传授。如今老师问他这点问题,自己却表现的好像什么重大机密似的,难免有些心虚。

赵院长却没有多做计较,只是在光刻机前前后后的打着转,就不信自己的眼力还看不出来有什么不同。

其实虽然麻友公这多少算是叛出师门,但赵院长心底里却并不怎么怨他的。一是光电所这些年来,确实有些对不起麻友公。二一个,心里多少也希望自己的徒弟能有一个好的归宿吧。

从这方面来说,他其实也理解麻友公保密的做法。假使改进技术真的有效,这里面涉及到的可是数以亿计的金钱。泛翰研究院是私人公司,当然不可能让人敞开了看。

就在这时,光刻机前的指示灯突然从红色转换成了绿色,并且发出了一道短促的“哔——”声。

一张200mm直径的晶圆盘片,从光刻机里被机械臂稳稳的送了出来。

“这是!”赵院长哪里会不知道这是怎么回事,光刻机里吐出来的晶圆表面上看并没有什么不同,但他知道这已经是经过了光刻的盘片。

此时这张盘片上面的光刻胶,应该已经被蒸发了一部分。只要再把这张盘片送入蚀刻机,就可以根据光刻的路径蚀刻出集成电路。

在场的所有人,除了保安部的安保人员以外,几乎个个都和光刻机系统扯得上关系。自然也就都明白,泛翰研究院是否已经掌握了0.5微米工艺,答案就在这一刻了。

“诸位,我们泛翰研究院究竟有没有掌握0.5微米工艺技术,大家此时此刻可以拭目以待了!这张单晶硅晶圆是我们改造之后的第一次光刻,我请你们记住1995年10月7日这个光荣的日子……”

周硕几乎是虔诚的,把晶圆从光刻机转移到蚀刻机上面,并且毫不迟疑的启动了蚀刻程序。

只是此时此刻,似乎所有人都已经忘记了他们的初衷。只是全神贯注的看着那薄薄的单晶硅晶圆,心中却已经有些相信泛翰研究院已经实现了0.5微米工艺。

问题很简单,若非是有十足把握,周硕又怎么有这个勇气,在众人面前完成蚀刻程序?甚至有的人心里已经打起了小算盘,按照国内的传统,说不定是已经有了成功经验之后,才玩的这个出炉把戏吧。

不管如何,周硕胸有成竹的模样,都让他们的态度在不自觉间发生了变化。

和光刻程序比起来,蚀刻的速度就快多了。几分钟之后,酸液已经把没有光刻胶覆盖的地方,腐蚀出了只有零点零几微米的微痕。微小到不论是人的肉眼、或者是普通的放大镜都无法发觉的地步。

当然,以蜂巢实验室里面的设备,有大把大把的方法可以对其进行观察和测量。

至少在1995年的集成电路制造水平,0.5微米的线宽,一部光学显微镜就已经足够、足够。

赵院长看了自己得意弟子麻友公一眼,微微叹了口气。他站出来,自报奋勇道:“周先生,我来对这张晶圆进行测量,没有问题吧?”

周硕呵呵笑着,将晶圆郑重的交到赵院长手里,点头说道:“能够有赵院长亲手测量,这是泛翰研究院的荣幸。我想在场的诸位,没有第二个人比赵院长更有公信力了。”

赵院长小心的将晶圆接了过来,摇头道:“谁知道你是不是事先放了从其他地方得到的晶圆进去?要按照我的说法,你至少应该在我们所有人的面前,再放一张晶圆进去。”

他顿了一顿,嗤之以鼻道:“前些年社会上还流行过水变油的闹剧,搞起这种夸张的科学技术来,向来是魔术师比科学家有本事。”

周硕似笑非笑的看着赵院长,摇头说道:“这张晶圆是不是我们泛翰研究院生产的,赵院长一看便知。”

赵院长不置可否,他呛上这两句语气说是质疑,不如说是在表明立场。毕竟这个技术是有麻友公参与的,对自己亲手培养出来的弟子他还是有信心的。麻友公的学术道德如何,他心里清楚。即使生活再怎么艰难,但学术造假肯定不会落到他的头上。

赵院长四下找了一圈,很容易就发现了一台光学显微镜。这是一台高倍的显微镜,最大观测分辨率可以达到0.1微米水平。用来观测0.5微米线宽的集成电路,可以说是轻而易举。

他熟练的操作着实验仪器,很快就做好了准备工作。赵院长向显微镜里看过去,却不想竟然惊讶的喊了出来!

“啊!”赵院长竟然从实验台前倒退了半步,那样子就如同见到了鬼一般。

赵院长很快就意识到了自己的失态,却来得及没有对众人做出丝毫说明,便又急匆匆的一头扑向了显微镜。

足足过了十多分钟,他才从显微镜前抬起头来,喃喃自语道:“竟然是真的,竟然是真的……”

“赵老,什么真的、假的?你看到了什么?”赵院长身边,一个焦急的领导抓着他的衣服就问道。

“确实是0.5微米线宽!”赵院长有些苦涩,却又有些自豪的说道。

是的,他虽然输了打赌,但仍然足以自豪。因为这是中国人创造的奇迹,是他的得意弟子参与创造的奇迹。作为一个把一生已经奉献给共和国科学事业的老科学家,他虽输犹荣。

“那也不能说明什么吧,说不定是他们搞了鬼呢。赵老,一个月时间把光刻机技术提高一代,这种放卫星的说法你也信?肯定是有什么障眼法,您可得擦亮眼睛啊!”

“去!自己去看!”赵院长挺直了腰板,指向显微镜说道:“中国人,我们中国人一向是善于创造奇迹的民族啊!”

身边这人带着明显怀疑的神色,站在显微镜前看了一眼,顿时也“啊”的一声,倒退了一大步!

“怎么回事?怎么回事?”

众人心头一阵疑惑,赵院长一个人震惊也就算了,后面这人在有了心理准备的情况下,怎么还表现的这么不堪?

“真的!是真的!”这人看完之后,竟然也有些失魂落魄似的,念念有词。

“咋回事究竟?我也看看!”

“啊!”

“哎,快让我看看!”

“哎呀!真的!”

后面几乎每一个人,在看到显微镜下图案的时候,都不由自主的一付惊讶的表情。

周硕呵呵笑着制止了后面人的鼓噪,通过设备将显微镜观测到的图案,直接显示在了实验室的投影幕布上面。

只见这张晶圆上面蚀刻的图案,竟然就是今天一早赵院长从面包车上跳下来的画面!还有什么,比这个画面更有说服力的吗!

同类推荐
  • 向前走走多久

    向前走走多久

    八零的他,从农村到城市,经历了事业和爱情的成功,尝尽了蹉跎,感叹人生悲苦,世事沧桑。都市小人物,被拉长的背影,倔强地向前走,走多久。。
  • 金牌制作人

    金牌制作人

    “李然总制作人,能不能谈一下你获得这个十几年来未有人能摘取的奖项有什么感想。”一个记者看着站在颁奖台上,高举着奖杯的李然问道。李然看着周围不断闪烁的镁光灯,笑了起来,回答道:“《全民偶像》值得这座奖杯!我相信观众的选择。”话音刚落,四周哗然,现场的每一个记者都不肯错过眼前这历史性的一幕。翌日,关于李然的消息席卷了每一个角落!从人生惨败的失败者,重生为一个即将失去小组的小小制作人,如今一跃成为世界瞩目的金牌制作人和让人又爱又恨的毒舌评委,对这重新来过的人生,李然很满意,但他的步伐从未停止。
  • 我的土豪时代

    我的土豪时代

    一个杀手重生在二零零八年地震前的汶川,上辈子过的苦逼的他决定这辈子一定要土豪一回。这一年,土豆还没大火,忘语还是新人,永恒之火还没写出《儒道至圣》.....作为土豪的顾惜,顺理成章的将他们拉到了自己旗下。这一年,《江南Style》还没火遍全球,《我的歌声里》还没被翻唱,就连《爱情买卖》都还没有独霸广场舞......作为土豪的顾惜,再次顺理成章的将它们写了出来。这一年,没有《甄嬛传》,没有《老男孩》,没有《来自星星的你》,更加没有拥有万千NC粉的长腿欧巴......作为土豪的顾惜,又一次顺理成章的将它们拍了出来。“这是属于他一个人的时代,让我们记住他的名字,顾惜。”——时代周刊。
  • 神眼娱乐大亨

    神眼娱乐大亨

    卫梵诡异的得到了一项超能力,重生?变身?透视?隐身?超级医术?超级格斗术?外星技能?通通木有!他的超能力是:预见未来。强大不?但是他只能看到一份都市报的娱乐版,而且只能看到半版。鸡肋不?就是这如鸡肋般的超能力,让这个屌丝少年打破禁锢,建立起新的娱乐圈秩序。群美环抱、黄金铺道,嬉笑怒骂间创建起了一个超级娱乐帝国!——————————————————————————————————本书书友群:105763373
热门推荐
  • 一万年的天空

    一万年的天空

    十八岁那年除夕夜,父亲神神秘秘带我去一个地方,说要给我个惊喜。所谓惊喜只是一个人无人问津的酒吧,所处的位置并不好,匆忙路过的上班族根本无暇在这里喝上一杯。父亲把这个破酒吧甩给我以后,信誓旦旦地说要去找我的母亲大人,并保证会带她回家。可母亲大人在我小时候就因病去世了。那天,他收拾好行囊“离家出走”。此后,我再也没有见过他。而这个酒吧,正一点一点显露出它的不同。惊喜?还是真相?
  • 战列舰科技知识

    战列舰科技知识

    武器是用于攻击的工具,是广大军事爱好者的最爱。特别是武器的科学技术十分具有超前性,往往引领着科学技术不断向前飞速发展。本书主要包括军事枪械、弹药火炮、装甲战车、舰艇航母、航空航天、导弹武器、前沿武器等现代武器的各种类型和品种,具有很强的科学性、知识性、前沿性和系统性。
  • 微笑吧,97

    微笑吧,97

    20年前的高三生活,不一样的时代,一样的青春。
  • 大宋天朝

    大宋天朝

    二十二世纪三十年代大龄单身屌丝封越莫名奇妙穿越到靖康之耻前一年,面对着还处于愚昧的大宋,他的恶趣味上来了。枪械?不不不,这是制式火属性黄品仙武。手雷,大炮?不不不,这时制式金火属性黄品消耗型仙武动力外骨骼?不不不,这是制式玄品仙甲。电磁炮(地级仙武)?空间折叠装置(传送阵)?空间存储装置(须臾戒)?拜托,科技,哦不?仙道不是一天建造而成的。若干年后,封越回过头,看到的是人类最真实的一面。(别问我金手指是什么?知识就是力量,知识就是真理,好吧!我承认还有个智脑。)
  • 铁与银

    铁与银

    当同胞饱受压迫,当人间的伤害触目惊心,当生命不再受到尊重,可以如同牲口一样买卖。这一次,灭世的危机真正来临,谁又能成为传奇的臂膀?我们,能否像过去的丰碑一样,挺立起人类的脊梁。
  • 睡眠管理手册

    睡眠管理手册

    自远古以来,睡眠一直是人们关心的话题。在现代生活中,人们经常会发现日常生活的压力超过了我们负荷的能力。睡眠不足是人们觉得困的最常见的一种原因,而且在现代它几乎成为最普遍的一种病。然而,还有一些人认为毫无理由的放弃生命中三分之一的时间用来睡觉是一件很难理解的事情。
  • 列魔纪(千种豆瓣高分原创作品·看小说)

    列魔纪(千种豆瓣高分原创作品·看小说)

    这是个西幻故事。希望它能带来一点阅读快感。在读书、上班、为了未来而奔波的日子里,稍微停顿下来,一头扎进这个世界,暂时离开你的现实生活一小会儿。让脑筋小小地疯狂一下,想想那些邪魔、精灵、魔法、骑士和圣徒。这不是胡思乱想。真的。你知道思想没有疆界。也许我们的世界与故事只隔着薄如蝉翼的一层时空。在枯燥的课堂或办公室里走神的一瞬,在拥挤的地铁或公交上神游的须臾,当你想起独自站在森林中的迷惘精灵,你的脑海就会架起与它连通的隧道。于是故事里的那个生灵,亦会抬起头,隔着千万年的时间和千万里的距离,也对你微微一笑。
  • 不二梦王

    不二梦王

    白长生意外重生到一本废材流玄幻小说里,成为还没有崛起的主角,他察觉以后,立志要做一个挣脱命运的逍遥人,开始搅浑剧情,不按常理出牌。给他安排妹纸他不要,让他装逼他不去,该热血时他又怂,所有套路他非要改一改......且看白长生如何一步一步把玄幻小说搅乱成为四不像,成为全网最不安分的主角。
  • 顶尖高手

    顶尖高手

    二十二年前,国服顶尖高手叶然带领世界闻名的国服战队参加S8赛季世界大赛。然而就在决赛当天国家队突然宣告弃权,自此之后国家队就像中了魔咒一般一蹶不振,世界冠军被欧美垄断足足22年。弃权之后的叶然彻底放弃了电竞,找了普通的工作有了普通的家庭,并且在自己孩子刚懂事时就规定。绝对不能碰LOL。二十二年后,当叶然的孩子把一切真相揭开后下了一个决定——走完父亲曾经的路!当五个各附身世,各有传承的少年,从对手一步步走向队友。当三十周年赛上再次出现国家队的身影。当他们用接近颠覆的打法改写人们对lol的认知.……他们就像王者一般宣告——国家队回来了!
  • 索尼大陆

    索尼大陆

    男主冥天是魔族直系皇子,但因为出生血脉逆行无法打通魔骨,是绝世废材,但以为一次人魔大战中母亲不幸身亡。冥天气的吐血刺激到了自己的血脉打通魔骨还获得万中无一的神化!由于打通魔骨太慢,长得个人类一样,潜入人族学习人类法术,为母亲报仇。